Институт образовательных стандартов Институт образовательных стандартов Дистанционное обучение 8 800 350 94 27
Профессиональное обучение · лицензия на образовательную деятельность

Обучение на оператора плазмо­химических процессов

Оператор плазмохимических процессов обрабатывает полупроводниковые пластины в плазме: травит слои, снимает фоторезист, осаждает и напыляет плёнки, следит за режимом и толщиной слоёв. Учим этой работе дистанционно, на 4-й и 5-й разряды; после итоговой аттестации — свидетельство о профессии рабочего, должности служащего с разрядом, сведения о нём вносим в ФИС ФРДО.

Дистанционно из любой точки России От 5 880 ₽ 4 900 ₽ −17% 1–3 месяца · 120–300 часов Разряды 4–5 Запись в ФРДО
Узнать срок и стоимость

Что делает оператор плазмохимических процессов

В плазме высокочастотного разряда молекулы рабочих газов распадаются на химически активные частицы: так с пластины снимают слой или фоторезист либо, наоборот, осаждают на ней плёнку.

Обязанности оператора плазмохимических процессов

  • Загружать и выгружать пластины кремния и жидкокристаллические индикаторы
  • Вести травление полупроводниковых материалов, снятие фоторезиста, высаживание двуокиси кремния на плазмохимическом оборудовании разных типов; наносить плёнки Fe2O3 ионно-плазменным способом
  • Поддерживать режим обработки по контрольно-измерительной аппаратуре, записывать его и корректировать по контрольным измерениям
  • Измерять толщину нанесённой плёнки и размеры элементов микросхем, проверять качество обработки под микроскопом и приборами
  • Находить неисправности установок и принимать меры к их устранению
  • На 5-м разряде — вести плазмохимическую очистку, наносить покрытия и напылять металлы, настраивать оборудование на режим

Перечень работ взят из §§ 25–26 ЕТКС — на его основе работодатель обычно составляет и должностную инструкцию; разница разрядов — в таблице.

Соседние профессии полупроводникового производства

Оператор элионных процессов обрабатывает пластины ионами или электронами — легирует их и создаёт p–n-переходы, ведёт микрофрезерование, микросварку и резку; травление, снятие фоторезиста и осаждение плёнок в плазме ЕТКС описывает у оператора плазмохимических процессов.

В том же подразделе ЕТКС описаны оператор диффузионных процессов, оператор вакуумно-напылительных процессов, оператор микросварки, а также оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев и оператор элионных процессов; рисунок схемы на пластины переносит оператор прецизионной фотолитографии. У каждой из этих профессий своя строка перечня № 534 и своя программа. В свидетельство записывается профессия по перечню № 534 — выбирают её по штатному расписанию. Не уверены, какая ваша, — пришлите название из штатного расписания, подберём программу. Все операторские профессии собраны на странице «Оператор».

Какой документ вы получите

Свидетельство о профессии с разрядом

Свидетельство о профессии рабочего оператора плазмохимических процессов — образец документа

После обучения выдаём свидетельство о профессии рабочего, должности служащего. В нём — название профессии по перечню № 534, «Оператор плазмохимических процессов», и разряд, 4-й или 5-й, присвоенный по результатам итоговой аттестации. Обучаем по лицензии на образовательную деятельность.

Сведения в ФИС ФРДО

Сведения о свидетельстве вносим в ФИС ФРДО — федеральный реестр документов об образовании и обучении; по нему работодатель может проверить документ. Форма обучения в свидетельстве не указывается.

Удостоверение оператора плазмохимических процессов

Когда спрашивают «удостоверение» оператора плазмохимических процессов, обычно имеют в виду документ о профессиональном обучении с названием профессии и разрядом — то есть это свидетельство. Инструктажи, медосмотр и допуск к работе на установках — забота работодателя, о них — в разделе о допуске.

Когда документ готов, присылаем его скан-копию, а оригинал за наш счёт отправляем заказным письмом Почтой России с трек-номером — вы отслеживаете его до получения. По договорённости отправим курьером.

Кому подойдёт программа

Начинаете с нуля

Приходите на участок плазмохимической обработки — начнёте с 4-го разряда.

Работаете без документа

Работаете на плазмохимических установках без свидетельства — оформите профессию с разрядом.

Повышение разряда

Вам поручили очистку пластин, напыление металлов и настройку установок на режим — пора на 5-й разряд.

Организациям

Обучим операторов плазмохимических процессов по договору: каждому — свидетельство и сведения в ФИС ФРДО.

Программа обучения оператора плазмохимических процессов

Темы построены по §§ 25–26 выпуска 20 ЕТКС; охрана труда идёт отдельным модулем. Материалы открыты в личном кабинете.

  • Физические и химические основы процессов в плазме: травление, очистка, снятие фоторезиста, осаждение плёнок; стойкость фоторезистивных масок к плазме
  • Плазмообразующие среды и рабочие газы: свойства, распад молекул в плазме, системы подачи и натекания газов
  • Основы электротехники и вакуумной техники: откачка, контроль степени вакуума, неисправности вакуумной системы
  • Плазмохимические установки разных моделей: устройство, кинематика, электрические и вакуумные схемы, настройка на режим и на точность
  • Ионно-плазменное и плазмодуговое нанесение покрытий, напыление металлов; генератор высокой частоты и согласование нагрузок
  • Контроль качества: толщина плёнок и окислов, глубина травления, размеры элементов микросхем; микроскоп, интерферометры, контрольно-измерительные приборы
  • Охрана труда, пожарная безопасность, первая помощь
Узнать срок и стоимость Напишите, на каких установках и с какими процессами работаете, — подберём разряд и объём курса

Разряды оператора плазмохимических процессов

Разряды 4-й и 5-й — так в перечне № 534 и в ЕТКС: § 25 (4-й разряд) и § 26 (5-й) выпуска 20.

РазрядЧто делает
Оператор 4 разрядаТравит полупроводниковые материалы, снимает фоторезист, высаживает двуокись кремния, наносит плёнки Fe2O3; держит и корректирует режим по приборам; контролирует толщину плёнки и размеры элементов микросхем
Оператор 5 разрядаВедёт плазмохимическую очистку пластин и материалов, наносит двуокисные плёнки, эмиссионные и антиэмиссионные покрытия, напыляет молибден и алюминий; готовит и настраивает оборудование на режим, согласует нагрузки генератора высокой частоты; выявляет причины неисправностей вакуумной системы, находит и устраняет причины отклонения скорости обработки; контролирует толщину микрослоёв на микроинтерферометрах

Требований к образованию и стажу §§ 25–26 ЕТКС не содержат.

4 разряд · травление, снятие фоторезиста, плёнки SiO2

ЕТКС § 25

Должен знать

  • Как устроены плазмохимические установки разных моделей и как они работают; их кинематику, электрические и вакуумные схемы
  • Как настраивать оборудование на точность; устройство и применение контрольно-измерительных приборов и инструментов
  • Зачем нужна откачка и как контролируют степень вакуума; роль и свойства плазмообразующих сред
  • Основы плазмохимического травления; как оценить стойкость фоторезистивной маски к газоразрядной плазме
  • Основные законы электротехники и вакуумной техники

Примеры работ

  • Кремниевые пластины — высаживание SiO2 из моносилана и кислорода в высокочастотном разряде, толщина плёнки по таблицам цветности
  • Мезоструктуры с фоторезистом — ионно-плазменное напыление диэлектрических плёнок
  • Пластины — удаление фоторезиста; пластины кремния — травление двуокиси кремния, лежащей на алюминии
  • Стеклопластины — нанесение Fe2O3; жидкокристаллические индикаторы — удаление полиамида

5 разряд · очистка, покрытия, настройка установок

ЕТКС § 26

Должен знать

  • Системы подачи и натекания газов
  • Что происходит с молекулами химически активных рабочих газов, когда они распадаются в плазме
  • Физические и химические основы процессов в плазме, основы плазмохимического осаждения
  • Свойства плёнок, которые обрабатывают в плазме
  • Как определяют глубину травления и толщину окислов
  • Устройство интерферометров и их настройку

Примеры работ

  • Кремниевые пластины — ионно-плазменное напыление молибдена и алюминия с добавками меди и кремния; травление и высаживание SiO2 с замером заряда и пробивного напряжения
  • Ситалловые пластины — осаждение плёнки нитрида бора; плёнки нитрида бора — травление
  • Фотошаблоны и пластины кремния — травление ионно-плазменным и плазмохимическим методом

Повышение разряда

Чтобы получить разряд выше, проходят обучение на следующий разряд той же профессии и получают новое свидетельство. Напишите куратору, что за вами закреплено, — подскажем, какой разряд подтвердить сейчас.

ЕТКС, коды профессии и группа ОКЗ

Программа построена по ЕТКС: выпуск 20, часть 1, раздел «Полупроводниковое производство», подраздел «Производство полупроводниковых приборов, интегральных и твердых схем», §§ 25–26 (выпуск утверждён постановлением Минтруда России от 21.01.2000 № 5, в редакции от 12.09.2001). В том же подразделе есть §§ 27–28 — 6-й и 7-й разряды, для них ЕТКС требует среднего профессионального образования; в перечне № 534 у профессии разряды 4–5, и по программе присваиваем только их.

ДокументЧто в нём указано
Перечень № 534, строка 2759Раздел «Производство электрооборудования, электронного и оптического оборудования», профессия рабочего, код ОКПДТР 15800, разряды 4–5
ОК 016-2025 (применяется с 1 января 2026 года)Новый код 103265; выпуск ЕТКС — 20
Группа ОКЗ, указанная в ОК 016-20253133 «Операторы по управлению технологическими процессами в химическом производстве»

ОК 016-2025 утверждён приказом Росстандарта от 16.05.2025 № 423-ст. Код группы ОКЗ ставят в кадровых документах, когда требуется код ОКЗ. На свидетельство коды не влияют: профессию и разряд в нём записываем по перечню № 534.

Стоимость и сроки обучения

Цена и длительность курса зависят от разряда, вашей подготовки и объёма программы.

Стоимость

от 5 880 ₽от 4 900 ₽ −17%
Сумма меняется с разрядом и объёмом, платить можно частями

Срок

120–300 часов
Обычно от одного до трёх месяцев

Форма

Дистанционно
Учитесь между сменами, без поездок
Узнать стоимость и срок Куратор назовёт цену и срок для вашего разряда

Скидка при обучении группой — до 30%

Для одного слушателя действует скидка 17% от полной стоимости. Если учатся несколько человек — например, сотрудники одной организации, — скидка больше: до 30% от полной стоимости, в зависимости от числа человек в группе. Скидки не суммируются — применяется большая.

−20%
от 2 до 4 человек
−22%
от 5 до 9 человек
−25%
от 10 до 19 человек
−30%
от 20 человек
Рассчитать стоимость для группы Оплата по договору и счёту, в том числе организацией. Состав группы и сроки согласуем на бесплатной консультации.

Обучение операторов плазмохимических процессов для предприятий

Обучаем сотрудников по договору с организацией: с нуля, на смежную профессию или для повышения разряда. Оплата по счёту; для группы — скидка до 30%.

Инструктаж не заменяет обучение профессии

Инструктаж знакомит с опасностями конкретного рабочего места, но профессии не учит и квалификацию не подтверждает. Её подтверждает свидетельство о профессии рабочего, должности служащего после профессионального обучения. Какое обучение нужно сотрудникам, решает работодатель, а если этого требует закон — он обязан его организовать (ст. 196 ТК РФ).

Точное название профессии

Разряды присваивают по ЕТКС или профстандарту (ст. 143 ТК РФ). Если с профессией связаны льготы, компенсации или ограничения, её название в трудовом договоре должно совпадать со справочником или профстандартом (ст. 57 ТК РФ). Наши программы названы по перечню профессий (приказ Минпросвещения № 534). В свидетельстве будет точное название профессии, а разряд — если он для неё предусмотрен.

Охрана труда — отдельная обязанность

Работника без обучения и проверки знаний требований охраны труда работодатель обязан отстранить от работы (ст. 76 ТК РФ). За допуск такого работника — штраф: организации от 110 000 до 130 000 ₽, должностному лицу и ИП от 15 000 до 25 000 ₽ (ч. 3 ст. 5.27.1 КоАП РФ). Обучение по охране труда проводим отдельно.

Документы, которые можно проверить

Сведения о свидетельствах вносим в ФИС ФРДО — после внесения отдел кадров проверит их онлайн.

Обсудить обучение сотрудников Подберём программы под штатное расписание — консультация бесплатная.

Как проходит дистанционное обучение

Курсы оператора плазмохимических процессов проходят онлайн: приезжать в учебный центр не нужно, на вопросы отвечает куратор.

  • Заявка. Пишете, где работаете или собираетесь работать и какой разряд нужен.
  • Договор. Оформляем с вами или с предприятием, оплата — сразу или частями.
  • Учёба. Лекции, конспекты и тренировочные тесты — в личном кабинете, с телефона или ноутбука.
  • Аттестация. Итоговая аттестация онлайн, затем свидетельство с разрядом; сведения о нём вносим в ФИС ФРДО.

Допуск к работе и охрана труда

Свидетельство подтверждает профессию и разряд. К самостоятельной работе на плазмохимических установках оператора допускает работодатель.

Инструктажи, обучение по охране труда и проверку знаний организует работодатель (ст. 214 Трудового кодекса); он же направляет на медосмотр, выдаёт средства индивидуальной защиты и знакомит с инструкциями своего участка. Обучение по охране труда можно пройти и у нас — по программе Б о безопасных методах и приёмах выполнения работ; этот документ и свидетельство друг друга не заменяют.

Где работает оператор плазмохимических процессов

По ЕТКС профессия относится к полупроводниковому производству — выпуску полупроводниковых приборов, интегральных и твёрдых схем. Оператор нужен там, где обрабатывают:

Пластины кремния

Травление, удаление фоторезиста, плёнки SiO2, напыление металлов.

Ситалловые пластины и фотошаблоны

Осаждение и травление нитрида бора, травление фотошаблонов.

Стеклопластины и индикаторы

Нанесение плёнок Fe2O3, удаление полиамида с индикаторов.

Документы для зачисления

Присылать оригиналы не нужно — хватит сканов или фотографий. Учиться можно с 18 лет.

Паспорт

Или иной документ, удостоверяющий личность.

Аттестат или диплом

Копия документа об образовании.

СНИЛС

Для передачи сведений о свидетельстве в ФИС ФРДО.

Фото и заявление

Фотография 3×4 и заявление, бланк пришлёт куратор.

Частые вопросы о программе

Обрабатывает полупроводниковые пластины в плазме: травит слои, снимает фоторезист, высаживает плёнки двуокиси кремния, держит режим по приборам и проверяет толщину плёнки.

4-й и 5-й — так в перечне № 534 и в §§ 25–26 ЕТКС: на 4-м травят слои и снимают фоторезист, на 5-м — ещё очищают пластины, наносят покрытия и настраивают оборудование. Если сомневаетесь, бесплатно проконсультируем и поможем подобрать программу.

С опытом и без — подберём разряд и программу. По перечню № 534 обучение по этой профессии начинается с 4-го разряда. Бесплатно проконсультируем и поможем подобрать программу. Учиться можно с 18 лет.

В выпуске 20, часть 1, раздел «Полупроводниковое производство», подраздел «Производство полупроводниковых приборов, интегральных и твердых схем»: § 25 — 4-й разряд, § 26 — 5-й.

Это разные профессии и разные строки перечня № 534: по ЕТКС оператор элионных процессов обрабатывает пластины ионами или электронами — легирует их, ведёт микрофрезерование, микросварку и резку, а травление, снятие фоторезиста и осаждение плёнок в плазме описаны у оператора плазмохимических процессов. В свидетельство записывается профессия по перечню № 534 — выбирают её по штатному расписанию.

Группа ОКЗ, указанная в ОК 016-2025, — 3133 «Операторы по управлению технологическими процессами в химическом производстве». Код профессии по ОК 016-2025 — 103265, по ОКПДТР в перечне № 534 — 15800.

Свидетельство о профессии рабочего, должности служащего: профессия «Оператор плазмохимических процессов» и разряд — 4-й или 5-й — по результатам итоговой аттестации. Сведения о свидетельстве вносим в ФИС ФРДО — федеральный реестр документов об образовании и обучении.

Да, полностью: лекции, конспекты и тесты — в личном кабинете, итоговая аттестация тоже проходит онлайн, ездить в учебный центр не нужно. Форма обучения в свидетельстве не указывается.

Программы — от 120 до 300 академических часов, обычно это от одного до трёх месяцев без отрыва от работы. Цена — от 4 900 ₽ и зависит от разряда и числа часов, можно платить частями. Точную сумму назовёт куратор.

Да, если вы сами оплатили обучение и платите НДФЛ — это социальный вычет по ст. 219 Налогового кодекса. Выдаём справку об оплате образовательных услуг для ФНС. Сумма возврата зависит от ваших доходов, уплаченного НДФЛ и установленных законом лимитов: с 2024 года учитываются расходы до 150 000 ₽ в год вместе с другими социальными вычетами. За своё обучение вычет дают при любой форме, в том числе дистанционной; за обучение детей, братьев, сестёр и супруга — только за очную.

Подобрать программу обучения

Напишите, какие процессы ведёте и как называется ваша должность в штатном расписании. Куратор изучит ваши документы и вернётся с программой, сроком и ценой. Контакты нужны только для ответа.

Подобрать программу →

Смотрите также

Государственная лицензия на образовательную деятельность

Институт образовательных стандартов ведёт обучение по лицензии на образовательную деятельность, выданной Министерством образования Оренбургской области; лицензия есть в реестре Рособрнадзора. Все документы официальные и вносятся в госреестр ФИС ФРДО — работодатель и проверяющие могут подтвердить их подлинность в любой момент. Ежегодно у нас обучаются более 7000 специалистов.

Проверить лицензию на сайте Рособрнадзора

Откроется официальный сайт Рособрнадзора в новой вкладке

Государственная лицензия
Лицензия № Л035-01248-56/00628862
Соответствие стандартам
ФГОС и профстандарты
7000+ слушателей ежегодно
Доверие и качество
Проверка подлинности
на сайте Рособрнадзора

Почему у нас удобно учиться

7 000+ слушателей в год выбирают дистанционное обучение у нас

Учитесь в любое время

Личный кабинет открыт 24/7

Без ожидания группы

Начинаете учиться индивидуально

Из любой точки России

Дистанционно, без отрыва от работы

Куратор до документа

Сопровождаем до результата

Оригинал за наш счёт

Почтой с трек-номером

Можно в рассрочку

Для групп — скидки

Что пишут наши слушатели

Это скриншоты реальной переписки — без правок и без модерации. Нажмите на любой отзыв, чтобы рассмотреть его крупно.

Все отзывы на отдельной странице

Остались вопросы?

Просто оставьте заявку здесь или позвоните по
бесплатному номеру: 8 800 350 94 27
наши специалисты ответят на все вопросы

Отправляя форму, вы соглашаетесь с

Узнать срок и стоимость Записаться Чат